Жоғары технологиялар санатындағы жоңғарлық бөлмелерінің рөлі

Жалғыз қорытындылардың сабақтауы процесіндегі маңызды қорытындылар

Чип сабақтауына қатысты шошқысыз орталықтар қандай маңызды

Дефекттерді өнімдеу - бұл полупроводник өндірісінде жолық шаршылардан қорғанудың маңызды аспекті. Бұл себептің ішінде, ең кішкентай пыралар дәмділік пен қызметкерлікке негізделген микросхемаларда үлкен сатылымдарға өткізуге мүмкіндік береді. Чунг-да полупроводник өндірісінде тоннельдік слоевың қамтамасыз өнімдері болады, және егер кішкентай қопыртқа болса, өнім дефектті болады, сонымен қатар үлкен ақша жеткізілуі болады. Сектор стандарттары, мысалы ISO 14644, қопыртқаның төменгі деңгейін сақтауға тапсырмалы. Бір зерттеу қарағанына сәйкес, микроннан кіші пыралар чип өнімдерін қорбайды, бұл да пыралардың деңгейін сақтау үшін жоғары сағаттық орталықтардың маңыздылығын көрсетеді.

Контаминацияны Қолдаудың Өнімдеу Құнындағы Экономикалық Қарым-Қатынасы

Полупроводниктердің өндірісінде, жауапсыз материалдар қатынасы зор гана мaliйтiк таптықтарғa әкеледi, бiр-бiрiнен кейiнгi өңдеудiң (re-working) және серияларды шеттiкке айналту (scrapping) саласында да. Егер шоштар өндiру орталығына кіредi, онда олар бүтiн чиптердiң серияларын құпайды, сонымен қатар қате болмаған өңдеу қажет етедi және шеттiкке айналту нормасын арттырады. Бұндай жауаптардың даму деңгейi, "жоғары оңдy" протоколдерiне сыйлықтай отырып, кемiдетiнiң және шығындарды арттыратыны анықталады. Тtéбiрлер білдіреді, қате контролiнің орнына алудың бизнесiнiң артықшылықтарында артықшылықтар бар деп: ақша таптықтары кемiдейдi және өндiру артықшылығы артады. Жоғары сапалы "жоғары оңдy" құралдарын сатудың бiр негiзгi плюсты - уақыт бойы оның ақша артықшылығы. Бұндай системелермен, компаниялар ұзақ уақытта өндiрушiлiк тiлiн қалпында сақтап, өндiру схемаларын қызықсыз сақтауғa болады, бұл таптықтарды кемiдетiнiң және маңыздылықты арттыратын.

ISO Сыфатталуы: Семікондукторлық Таза Орталықтардың Негізгі Құрылымы

Микросхемаларды Өндіру үшін ISO 14644 Стандарттарын Анлату

"ISO 14644 semiconductor салыстырудағы жоңғар ауылын тасымалдау үшін жоңғар орнын санаттау қажет" критерийлері жоңғар ауылдарындағы һава ішіндегі шаршылардың концентрациясын басқарады, компьютерлік чиптер мен басқа әлсіз өнімдерді құруға тейін болады. Осы қате тіркесін бөліп, 1, 2, 3 санаттары мен басқаларын құру арқылы, дүниандық semiconductor өнімдерін өндіретін компаниялар бірдей нәтижелерге жетуге мүмкіндік табады, ал орталықтарында микросхемаларда дефекттерге мән беретін контаминациядан қорғау үшін ең оптималды шарттарды береді. ISO 14644-тің ең соңғы жаңартылған нұсқалары semiconductor өнімдерінің өндірілуінде пайда болған технологиялық және материалдарға сай шаршыларды өлшеу үшін жаңа техникалық әдістерді қамтамасыз етеді.

Өзгертіп, ISO 14644 жолаушылардың класстерінің стандарттарын салдар өлшемі мен саны бойынша анықтайды. Місалы, 1-класстың жолаушылық бөлмегі 0.1 микрометр немесе оған тең салдарға 10 куб метрде тек 10 салда рұқсат етеді; ал 5-класста осылай салдардың саны 100,000-ге дейін болуы мүмкін. Бірақ, сондай-ақ тән стандарттар гиперчуйымдық жолаушылық бөлмелердің дизайні мен операциясын қажет етеді, олар соңғы фильтрлерді, тез түсіндіру және жеке қорытындық қамтамасыз ету технологиясын қолданады. Соңғы шығарылған ISO стандарттары да semiconductor құрылғыларын жасау қажеттеріне қарағанда әлдеқайда дамиды, себебі компаниялар технология дамыған кезде өндірістік орындарын оптималды ретте сақтауға қажетті.

1-класс және 5-класс жолақтарының талаптарын салыстыру

Егер біз «1-ші клас және 5-ші класқа тиісті сағаттық орнындағы айырмашылық неге болады?» деген сұрақты етіміз, онда жауап негізгі түрде сағаттық орнаңызда рұқсат етілген жолау саны мен оларды фильтрлеу үшін пайдаланылатын жүйелерге салыстырылады. 1-ші класстағы сағаттық орнаңыз ең көп талаптарға сай және ең аз жолауларды рұқсат етеді және өте қалаймыз материалдармен жұмыс істейтін процестер үшін пайдаланылады. Айырлау арқылы, 5-ші класстағы сағаттық орнаңыздарда жолау саны қосылады (бірақ сағаттық орнаңыз ретінде емес), бұл әлдеқайда салыстырмалы процестерді қолдануды көрсетеді.

1-ші классқа жатадыҒан сағындау өрнектері көп талап ететін қызмет халықтары мен оларды сақтау үшін қажеттіліктерге сай, көптеген қосымша құралдардың барлығына қолданылады, себебі олар әдетте көптеген шоғырланған фильтрлердің жүйелері мен строгтық баланс басқаруын қажет етеді. Осы жүйелерді қызметке асыру үшін мүмкіндіктері бар адамдармен сақтау және басқару қажет, бұл да әдетте көптеген тікелей және жеке траттарға өтеді. Бірақ қызмет халықтары өсімдік қабілетін жоғары деңгейде сақтау және дефекттер санын кеміту арқылы оқиғаларынан кейінгі нәтижелер шығады. Салыстыру кестесі немесе суреттер қосымша арқылы екі класс арасындағы айырмашылықтарды түсіндіру үшін пайдалы болуы мүмкін, себебі олар екі класс арасындағы ауыр ауыр құрылғы/регулация талаптарын көрсетеді. Білім алу процесінде бизнесдерге қандай сағындау орталығы оларға қажет екенін анықтауға көмектеседі, бұл да олардың өндірістік процестеріне байланысты.

Полупроводниктер үшін жоғары сафтықтағы шөптердің негізгі компоненттері

Ескерту: HEPA/ULPA Фильтрация жүйелері һавадағы жеке жинақтарды алып тастау үшін

HEPA және ULPA қуыршақ фильтрация жүйелері полупроводниктер үшін жоғары қуыршақ сапасына маңызды. Бұл фильтрлер 99,97% және 99,999% қуыршақ шағын жолдаушыларын топтастыру және есептей алатын түрде құрылған. Бұл деңгейдегі зерттеу полупроводниктерді өндіру кезінде маңызды, себебі қалыпты заражение дефекттерге және жыныстыққа әкеледі. HEPA (немесе ULPA) фильтрлерін дұрыс орнату және сақтау ISO стандарттарына сай болуға және барлық уақытта қызмет етуін сақтауға көмектеседі. Дұрыс орнатуда қосымша жолдау минималды болады, бұл не тек қуыршақ сапасын арттырады, балық чистые жүйелердегі заражение мүмкіндігін жеңілдетеді. Қорғаныштық фильтрация жүйелері отрасль статистикасына сәйкес, қуыршақ шағын жолдаушылардың санын 90%-ден астамай қысқартады, бұл чистые жүйелер стандарттарына сенімділік береді.

Чистая комната құрылғысында ESD-тезекқор материалдар

Электростатикалық шаруашылық (ESD) семикондукторларды құруда өте қауіпсіз, сондықтан таза жергілік орналасуының дизайны ESD-тік қалаймыз материалдарды пайдалануға қажет. ESD-тік қалаймыз материалдер (электростатикалық шаруашылық) статикалық электрик шаруашылығының пайдасын қалаймаған немесе оның пайдасына қарсы күш жасайды. Бұлдар статикалық шаруашылықты азайту үшін пайдаланылатын емелдер, проводниктерден жасалған үстелдер және арнайы киімдер болуы мүмкін. Олардың қасиеттері сияқты, уақытша электрик зарядының төмен болуы мен контрольдегі қырымдайлық сипатталған, сондықтан олар семикондукторлардық ортаға қолдану үшін қабілетті. Тtéділер ESD қадамдарын басқарбастаудан тыс болғанда, шығыс өсуі мен аппараттардың қалыптылығында өзгеше көрсетеді. Интернешнл Journal of Microelectronics-тің зерттеуі бойынша, электрондық аппараттардағы 25% сәбіздіктер ESD-ге байланысты болуы мүмкін, бұл ESD-тік қалаймыз материалдарды пайдалана отырып семикондукторлардың функціясын қорғау маңыздылығын көрсетеді.

Семикондуктор Clean Rooms-да температура және сырлықты басқару

Литографиялық дәлдік үшін ±0.1°C стабильдігін сақтау

Полупроводниктердің құрылымдау процесінде, литография дәлдігі үшін термиктік стабилдік негізгі фактор. Термиктік ауытсаулар полупроводниктердің жұмыртқаларында шағын келісімсіздіктер мен дефекттерге себеп болуы мүмкін, бұл lithography операциясының дәлдігіне тиімді тәсір етеді. Жылдам температуралық айырмашылықтарда материялардың кеңейуі мен суыруы болады, ол полупроводниктерде қажетті микроскоптік салыстырмаларды деформациялауды мүмкін етеді. Журналда «Жарықтық өндірістің Полупроводниктері» басылған бір зерттеуде, температуралық стабилдік үшін артықшылық шығындарымен байланысты деп аталған, температураның стабилдікпен кездейсоқтығы өндіріс еффективділігін арттырды. Кешірімсіз HVAC системалары мен мониторинг температуралық ауытсаулардың қателерін кемітуge көмектеседі, бұл ±0.1°C спецификациясынан тыс түсіреді, бізге қажетті қауіпсіз қызмет көрсету үшін.

Статика және коррозиядан сақтау үшін 40-50% RH басқару

Температура басқарудың маңыздылығы сияқты, полупроводник санөнергетік отраслігінде жоғары өзгерткіштік ұмтылым (RH) дәрежесін басқару да маңызды. RH деңгейлері 40-50% статикалық шаршу мен материалдардың қорынайысын азайту үшін маңызды. ESD компьютерлік чиптері мен басқа полупроводник құрылғыларын тиеді. Кеңістікте, қате ұмтылым металдік коррозияға ықпал етуге мүмкін, оның нәтижесінде құрылғыларға зиян келеді. Полупроводниктерге қатысты Интернешнл Технологиялар Жолдың Семейлігі (ITRS) сияқты индустриялық стандарттары осы ұмтылым деңгейлерін басқару үшін тұрғындауға салыстырады, осылайша осы қорқыншылықтарды азайту үшін. Ұмтылым системаларын пайдалану және тез-тең ҰО басқару сияқты процедуралар ұмтылым деңгейлерін кеңінен регулируайды. Соңғы жылдарға сәйкес индустриялық стандарттар демонстриреді, оптималды ҰО құралдарын қорғауға болады, бұл сатып алушының қауіпсіздігін қалыптастыруға және жоғары өзгерткіштік ұмтылыммен қате және коррозия мeseлелерін қазіргі жолдармен шешуге көмектеседі.

Чип жасау процесінде контаминациядан қорғау стратегиялары

Ерден-ауыздағы молекулалық көбейтіншілік (AMC) тіркелгілерін азайту әдісі

Ерден-ауыздағы молекулалық көбейтіншіліктер (AMC) жергіліктік орталықтарда өзекті проблема құрайды, өйткені олар әртүрлі шыналаушылардан, арналған құрылысқа, қызметкерлерге және қоршағдарға басталады. Бұл көбейтіншіліктер, сонымен қатар суроттық газдар немесе волатиль органикалық байланыстар, полупроводник құрылғыларының қызметкерлігі мен нәтижелігін кемиді. AMC-ті азайту үшін кез келген стратегиялар қолданылады.

1. Химиялық фильтрация: Кеңес берілетін химиялық фильтрация жүйелерін қамтамасыз ету маңызды. Бұл жүйелер әдетте активті карбон және цеолит сияқты композит материалдардан пайдаланады, молекулалық көбейтіншіліктерді тиімді түрде қосу және алып тастау үшін.
2. Шыналаушының басында азайту: Қалаушылықтың шыналаушысында азайту да өзекті стратегия. Бұл сөндірілген материалдарды қолдану, мүмкін шеткіштерді ұшыру немесе сандық жабдықтарды сақтау үшін локальды мини-орталықтар құруға болады.
3. Мониторинг және сыйлау: AMC деңгейлерін үзіліссіз көздерсеу, SEMI F21-1102 сияқты санаттық стандарттарға сай болуына көмектеседі және тез ақпарат береді, солар қауіпсіз деңгейлерді сақтау үшін.

Көбінесе semiconductor компанияларында AMC-ді кеміту әрекеттері мәселелік етілген, бұл құрылыс салдарының қадірлігін және шығындардың нәтижелігін арттырады. Бұл техникалар cleanroom ортағын semiconductor процестерге сай болуына қолдау көрсетеді.

Қызметкерлердің киім протоколдары мен шаршы тастап жігуін өшіру

Cleanroom орталықтарында, шаршы тастап жігуін азайтуда қызметкерлердің киім протоколдары маңызды рөл атқарады. Қызметкерлердің баруы, тұрақсыз әрекеттер және киімнен фибралар сияқты контаминанттарды орналастыруға мүмкіндік береді, бұл semiconductor өндірістікке зиян етеді. Сондықтан, дұрыс киім маңызды.

1. Киім техникалары: Қызметкерлер строгий киім процедурамына сай болуы керек, бұл қамтамасыз киімдер, шапка, ыстық маска, термелер және аяқ киімдерін қосады. Бұл мерекелер cleanroom-ға шаршы тастап жігуінен қорғайды.
2. Материалды таңдау: Құрал-қуындар үшін пылғаны төмен және шаршы тастап кетуіне мүмкіндік бермейтін материалдар таңдаулы. Бұл материалдар қорытындылық тәсілдегі қою жобаларын азайтуға көмектеседі.
3. Қою инциденттері туралы статистика: Тақырыптарға сәйкес, қате гаунлау қою инциденттеріне өзгертудің нәтижесінде өндіру қорытындысына қатысты әсер етеді. Мисалы, бір зерттеу гаунлау протоколдері тиімді түрде орындалмағанда дефекттік норманың 20%-ға артқанын көрсетті.

Строгий гаунлау протоколдерін қамтамасыз ету, қорытындылық тәсілдегі қоюға әсер етпейтін қызметкерлерді қамтамасыз етеді, бұл электрондық компоненттерді құру процестерін дамытуға көмектеседі.

Нәтижені талдау: АМС-ті азайту және қызметкерлерді гаунлау протоколдері сияқты қорытындылық тәсілдік қорғау стратегиялары электрондық компоненттерді құру процестерінің тезілігін сақтауға қажет. Бұл мерекелерді қабылдау арқылы, чистые цехтер алғашқы және қателсіз чип өндіру үшін қажетті жағдайларды жасайды.

СЖ

Чистые цехтер нечеліктен электрондық компоненттерді өндіруде маңызды?

Тазалық салоналары микросхемалардың өндірілу кезінде жолақтың бас тартуына себеп болатын шоштық контаминациядан сақтау үшін маңызды. Олар өндіріс процестері кезінде микросхемалардың толықтығы мен жұмыс істейтінігін сақтау үшін контрольдік ортағын сақтайды.

Контаминация өндіріс заттарының өртірінен қандай тәсір етеді?

Контаминация қайта өңдеу, отпадаушылардың проценті мен аймақтары қажет болғанымен қатар, өндіріс заттарының өртірін арттыруға мүмкіндік береді. Тазалық салонасы ортағын сақтау осы аймақтарды кемітуге және өндіріс қабілетін арттыруға көмектеседі.

ISO 14644-тің тазалық салоналарындағы маңыздылығы қандай?

ISO 14644 тазалық салоналарындағы ыстық қозғалыс пыналарының деңгейін стандарттау үшін маңызды, бұл semiconductor өндірісінде контаминациясыз өндіріс ортағын сақтаудың негізгі факторы.

HEPA/ULPA фильтрлері тазалық салоналарында қалай жұмыс істейді?

HEPA және ULPA фильтрлері өте кіші өлшемдегі пыналарды да қосымша тастап, басқаруға жеткізеді, сонымен бірге semiconductor-ге сай тазалық салоналарында қажетті ауа тазалығын сақтайды.

Нелігі ESD-контроль сағаттауы өзгештік орналасуында неге маңызды?

ESD-контроль сенситивті электрондық компоненттерге зиян келтіруден қорғау үшін маңызды. Салада пайдаланылатын ESD-тез тұрақты материалдер электрлық шарждарды жоюға және семикондуктордың барлығын сақтауға көмектеседі.

Семикондуктор сағаттарындагы температуралық стабильдік қалай сақталады?

Температуралық стабильдік ±0.1°C сандық аралықпен сақталады, бұл литография дәлдігі мен семикондукторларды өндіру үшін қажетті.

Аерленген Молекулалық Жауап (AMC) пен жұмыс істеудегі стратегиялар қандай?

Стратегиялар молекулалық контаминанттарды азайту үшін химиялық фильтрация, шынымен жұмыс және түсінікті кездейсоқ мониторинг қамтиды.