EN
Криттік Роли Ауа душы полупроводниктердің Жоғары Саф Жергіліктерінде
Микросхемалардың Үйлестіруіндегі Контаминация Қорғанымдары
Шындығында, микрочиптерді жасау - өте ұқыпты жұмыс, өйткені осындай кішігірім компоненттер тозаң, ауада жүзіп жүрген кішігірім бөлшектер және химиялық булар сияқты әртүрлі заттарға өте сезімтал. Бар болғаны бірнеше микрометр өлшеміндегі кішігірім бөлшек өнімнің бәрін бұзып, қымбат тұратын кремний пластиналарын құнсыз қалдыққа айналдыруы мүмкін. Ластау көптеген жерлерден келеді. Ақысында, онда жұмыс істейтін адамдар киімдерімен ластау алып келеді, материалдардың өзі қоспаларды тасымалдауы мүмкін, сонымен қатар, ауа да микроскопиялық бөлшектерден тұрады. Сондықтан-ақ таза бөлмелерді пайдалану ережелерін қатаң сақтау өте маңызды. Ауа душы жартылай өткізгіш зауыттарындағы маңызды рөл атқарады. Бұл арнайы бөлмелер жұмысшыларға кірер кезде қуатты ауа ағынын шығарып, негізгі өндірістік аймаққа кірмес бұрын көпшілік ластауды ұшырып жібереді. Бұл таза бөлмені сақтап, қателерді болдырмауға көмектеседі. Компаниялар осындай ауа душы жүйелерін ластаудың соңғы қорғаныс сызығы ретінде орнатады, қосымша қорғаныс қабатын қамтамасыз етеді, өйткені кез келген қоспаны көтере алмайды.
Полупроводник өндірістері үшін ISO стандарттары
Жартылай өткізгіштерді шығару кезінде ISO стандарттарын орындау міндетті. Мысалы, ISO 14644-1 – бұл чиптерді жасайтын бөлмелердегі ауаның тазалығы туралы қатаң ережелерді белгілейді. Бұл стандарт нақты ауадағы кез келген уақытта қаншалықты кішігірім бөлшектер болуына рұқсат етілетінін көрсетеді, өндіріс барысында ештеңе бұзылмас үшін. Бұл нұсқауларды сақтау өте маңызды, өйткені оларсыз компаниялар ақаулы өнімдерді шығару немесе кейін сапа мәселелеріне тап болу қаупін жасайды. Ауа шауырлары осы талаптарды орындауды қамтамасыз етуде маңызды рөл атқарады. Бұл құрылғылар таза бөлме аумағына кірудің алдында ластанудың негізгі кедергісі болып табылады. Жұмысшылар ауа шауырлары арқылы өткен кезде, көбінесе ластану тазаланады, ал сенситивті өндірістік аймақтарға жетпейді. Ауа шауырларын өз ғимараттарының жобасына енгізген жартылай өткізгіштерді шығарушылар чиптерді өндіру үшін қажетті қатаң тазалық стандарттарын сақтау оңайырақ болып, ақаулар санын азайтып, жалпы нәтижені жақсартады.
Ауа душы Механика және шаршы тазарту қабілеті
Жоғары жылдамдықты HEPA фильтрлеу аспаптары
Жоғары жылдамдықты ауа ағынын қолданатын және HEPA сүзгілерін пайдаланатын ауа душы таза бөлме жағдайын сақтаудың маңызды бөлігі болып табылады. Өз кезегінде HEPA сүзгілері ауадағы заттарды ұстап алуға өте бейімделген – олар 0,3 микрон өлшеміне дейінгі бөлшектердің 99,97 пайызын ұстап қалады, бұл ауадағы кез келген лас және бөлшектердің деңгейін қатты төмендетеді. Нақты көрсеткіштерге назар аударсақ, бұл жүйелер адам таза аумаққа ауа шлюзы арқылы кірерден бұрын бөлшек санын 95 пайызынан астам азайтады. Жартылай өткізгіштерді шығару кәсіпорындары сияқты орындар үшін мұндай тазалау едәуір айырмашылық жасайды. Құрылғылардың өте сезімтал өндіру процесстеріне кіріп, әрқайсысы мыңдарлаған доллар тұратын ақауланған өнімдерге әкеліп соқтыруы мүмкін шаңның немесе басқа да микроскопиялық бөлшектердің тіпті ең кіші үлкендерінің болуы.
Шихер біріктіруының оптимизациясы
Ауа душінде форсунка орнату жасау адамдар мен жабдықтардан бөлшектерді алуға келген кезде бәрін айырмашылық жасайды. Біз осы форсункіларды қалай орналастырып, бұрыштап орналастырсақ, барлық кеңістік бойынша ауаның жақсы жабуын қамтамасыз етіп, шаң түйіршіктерінің қалып қоймайтын жерлер қалмайды. Кейбір зерттеулер осы сияқты өзгерістер енгізу бөлшектерді алу тиімділігін 20 пайызға дейін арттыруы мүмкін екенін көрсетті. Бұл жалпы таза бөлмелер деген сөз. Ауа ағыны барлығының үстінен біркелкі қозғалған сайын, ластану бұрыштар мен машиналардың артында қалу ықтималдығы төмендейді. Әсіресе зертханаларда немесе өндіріс аймақтарында, тіпті ең кішігірім ластану кейінірек үлкен проблема тудыруы мүмкін орындарға тазарту әрекеті жақсартылған таза ортаға кірудің пайдасы бар.
Цикл уақыты мен ауырлықтардың іске қосу динамикасы
Ауа душының дұрыс цикл уақытын алу өте маңызды, өйткені операторлар үшін тазалау мен үрдістің тиімділігін сақтау арасындағы теңдік орнату қажет. Бөлшектердің түсуіне байланысты циклдың ұзақтығын анықтау үшін әлдеқайда көп әсер етеді. Үлкен бөлшектер кішілеріне қарағанда тезірек түседі, сондықтан ауа ағынын қарастырылып отырған ластаушы заттардың түріне байланысты реттеу қажет болуы мүмкін. Өндірушілер бөлшектердің әртүрлі әрекеттеріне сәйкес цикл уақытын реттегенде, шын мәнінде ластау мәселелерін біраз азайтады. Бұл шала өткізгіштердің толық партияларын бүлдіретін тіпті ең кішігірім бөлшектер үшін қатаң тазалық бөлмелерінде ерекше маңызды болып табылады. Көптеген жартылай өткізгіш зауыттарында ауадағы бөлшектерге қатаң талаптар бар, сондықтан цикл уақытын дұрыс таңдау тек жақсы тәжірибе ғана емес, сонымен қатар бизнес-үздіксіздік үшін өте қажетті шарт.
Полупроводник үшін Ауырлық Станцияларының Дизайн Қабілеттері
Материалдық Уәкілдік және Статика Контролі
Жартылай өткізгіштерді өндіру үшін ауа душын жобалау материалдардың таңдап алуы мен статикалық электрді басқаруға назар аудару керектігін білдіреді. Құрылыс материалдары химикаттардың жабысып қалуына немесе жұқа жартылай өткізгіш пластинкаларын бүлдіруі мүмкін бөлшектерді бөліп шығаруға мүмкіндік бермейтін поралы емес беттер болуы керек. Бұны дұрыс орындау - таза бөлмеге қосымша заттардың енуінен сақтау деген сөз. Статикалық электрді басқару да маңызды, себебі біз бәріміз білетін электр разрядтары сезімтал жабдықтарды шіркітпеуге көмектеседі. Әлбетте, ешкім бес миллиондық чиптерін жай ғана жарқын шаммен жағып алғысы келмейді. Сол себепті көптеген кәсіпорындар статикалық едендерді орнату немесе қабырғалар мен жұмыс орындарына өткізгіш қаптамалар жабу арқылы стандартты орнату кезінде қарастырады.
Тоннельдік және Стандарттық Ауа душы Конфигурациялар
Тоннельді және стандартты ауа душын орнату арасында таңдау жасағанда компаниялар ауаның қаншалықты таза болатынын, қол жетімді еден кеңістігін және қаншалықты қаржы көлемін қарастыруы керек. Тоннельді жүйелер жұмысшылар таза бөлмеге кірер алдында герметикалық кірудің белгілі бір аймағын жасайды, бұл әдеттегі моделдер ұсынатынан гөрі таза ауа болатынын білдіреді. Кемшілігі неде? Бұл тоннельдер кең кеңістікті алады, өйткені кейбір жабдықтау орындарында ғимарат аумағы шектеулі. Сондай-ақ, оларды салу әдетте қосымша құрылымдық материалдар мен сүйенішті қажет ететіндіктен қымбатқа түседі. Жобалаушылар алдымен өз күнделікті операцияларына назар аударуы тиіс. Қызметкерлер жиі өтіп жатыр ма? Қандай өнімдермен жұмыс істеліп жатыр? Кейде біраз қосымша шығын жасап, уақыт өткен сайын ластанудың алдын алу арқылы ұзақ мерзімді үнемдеуге қол жеткізуге болады.
Автоматтық Интерлок Капталдар Жүйелері
Жартылай өткізгіштерді ауамен шаю бөлмесінде автоматты блоктау есіктері таза бөлмелердің үздік күйін сақтау үшін үлкен айырмашылық жасайды. Бұл жүйелердің негізгі міндеті - бақыланатын кеңістіктен ауаның сыртқа құйылып кетуін тоқтату, бұл қатаң кіруді бақылау ережелерін сақтауға көмектеседі, сондықтан ластану бақылау астында ұсталады. Адамдар немесе материалдар процеске дұрыс өткенде, олар жағымсыз бөлшектерді әкелмейді. Бұл өте сезімтал орталардың ішінде тегіс және қауіпсіз жұмысты қамтамасыз етеді. Микроскопиялық компоненттермен жұмыс істейтін жартылай өткізгіш өндірушілер үшін сенімді блоктау жүйелерінің болуы сапалы шығарылым жасау мен келешекте пайда келтіретін сапа мәселелерінің арасындағы айырмашылықты білдіреді.
Семікондуктор өндірісіне әсері
Контаминацияның бас тартылуы арқылы шығындыларды жақсарту
Ауа душтары жартылай өткізгіштердің өнімділік көрсеткіштерін арттыруда үлкен рөл атқарады, өйткені олар ақауларды тиімді түрде азайтады. Жартылай өткізгіш зауыттарында осындай жүйелерді енгізген кезде өнімділік шамамен 15% артады, себебі ластану қатаң бақылау астында ұсталады. Ауадағы кір аз болған сайын, табиғи түрде ақаулы чиптер саны азаяды және өнім сапасы жақсарып, тұрақты болып қалады. Қайта өңдеуге кететін шығындар мен ақаулы бөлшектерді шығарып тастауды болдырмау есебінен ұзақ уақыт ішінде көп ақша үнемдеуге болады, бұл өндірістік процесстерді әлдеқайда тиімді етеді. Таза бөлме ортасындағы ұсақ бөлшектерді болдырмау жартылай өткізгіш өнімдерінің өндіріс процесі бойынша тұрақты және сенімді болып қалуын қамтамасыз етеді, бұл әрбір чип жасаушы компанияның ұмтылысы болып табылады.
Жабдықтағы фильтрлердің техникалық қызметтерінің қарыздарын азайту
Таза бөлме фильтрлерін тұрақты жұмыс істеу үшін жартылай өткізгіштер өндірушілері біраз ақша жұмсайды, бірақ ауа душы осы шығындарды қысқартуға көмектеседі. Бұл жүйелер таза бөлмеге түсетін шаң мен бөлшектердің мөлшерін азайтқан сайын, фильтрлердің өзіне түсетін қысым азаяды, яғни қымбат тұратын компоненттер ұзақ уақыт пайдалануға болады. Салалық деректер таза ауа душы технологиясын дұрыс пайдалану арқылы компаниялардың шамамен 30% дейінгі техникалық қызмет көрсету шақырулары мен тексеру талаптары азайғанын көрсетеді. Ақшаны үнемдеудің өзінде де, бұл жақсарту таза бөлменің күнделікті жұмысын жақсартып, фильтрлерді ауыстыру немесе жүйе істен шығу сияқты үзілістерсіз өндіріс стандарттарын сақтауға мүмкіндік береді.
Кейс студиясы: Fab Plant контаминациясын азайту
XYZ жартылай өткізгіш өндіру кәсіпорнын мысал ретінде қарастырыңыз, ол таза бөлмелерде заманауи ауа шауындарын орнатқан. Нәтижелер нағыз сенсациялық болды - ендіру нәтижесінде ластану деңгейі шамамен 40% төмендеді. Жұмысшылар бұл төмендеудің күнделікті жұмыстарға нақты әсерін байқады. Өндірістік топтар бөлшектермен байланысты мәселелерге тап болмай, тезірек жұмыс істей алды. Өнеркәсіптегі ұқсас кәсіпорындарды талдау компаниялардың неліктен ластануды бақылау жүйелеріне инвестиция салып жатқанын көрсетеді. Зауыттар жаңартылған ауа шауын технологиясына ақша жұмсаған сайын, әдетте, ұзақ мерзімді үнемдеу мен сапа мәселелеріне байланысты өндірістің кешеуілдеу саны азаяды. Қазіргі нарықта тіпті ең кішігірім бөлшектер тұтас партияларды жоятын жартылай өткізгіштерді өндірушілер үшін бұл жүйелер бәсекеге қабілеттілікті сақтаудың қажетті бөлігі болып табылады.
Есік шоғырлық жүйелерінде шығынған технологиялар
Реал уақыттағы частықтарды мониторлау үшін зерттеу сенсорлары
Ауа душы жүйелеріне ақылды датчиктер қосу ауадағы бөлшектерді осындай орындарда қадағалау тәсілін түбегейлі өзгертті. Датчиктер жүйенің күн бойы ластану деңгейі өзгергенде жауап қайтаруы үшін уақытылы ақпарат береді. Нақты уақыт режимінде қадағалау ылғи таза бөлмелерде жұмыс істейтін персоналға тезірек дұрыс шешім қабылдауға көмектесіп, олардың талаптарға сай келуін қамтамасыз етіп қана қоймай, уақыт пен ресурстарды үнемдеуге де мүмкіндік береді. Ең маңыздысы, осындай техникалық жаңартулар ауа душының ортада болып жатқан қандай да болмасын жағдайға дереу бейімделіп отыруына мүмкіндік береді. Бұл өндірушілердің қатаң өнеркәсіптік стандарттарға сәйкес келуі үшін қолмен тұрақты түрде қайта тексеріп отыру қажеттілігін немесе күтпеген ластану мәселелерін шешу қажеттілігін болдырмауын білдіреді.
Энергииялық тиімді қайта өту системалары
Ауа душында кездесетін рециркуляция жүйесінің жаңа буыны ауаны таза ұстаудан гөрі көбірек қызмет атқарады, сонымен қатар энергияны пайдалануды азайтады, бүгінгі таңда жасыл инициативалар үшін маңызы зор. Бұл жүйелерді енгізген кезде 25% электр энергиясы аз қажет болады. Энергияға төленетін төменгі шығын ұзақ уақыт бойы нақты ақшаны үнемдеуге мүмкіндік береді, сондықтан көптеген зауыттар мен зертханалар өз экологиялық стратегияларының бір бөлігі ретінде осы технологияға көшеді. Әртүрлі салалардағы компаниялар жасыл операциялар жүргізуге тырысқан сайын, жақсартылған ауа душы жүйелері бюджетті үнемдеу мен қатаң экологиялық мақсаттарға жету арасындағы қашықтықты жояды.
Әртүрлі өлшемдегі частықтарды алып тастау үшін адаптивті ауа потоқтары
Ең соңғы адаптивті ауа ағыны технологиясы ауа душы жүйелері үшін ойын өзгертті. Енді жүйелер үлкен немесе кіші, органикалық немесе бейорганикалық болсын, қандай бөлшектерді анықтағанына байланысты өз ауа ағынын реттей алады. Бұл әртүрлі ластағыш заттардан тазалау нәтижелері жақсы болатындығын білдіреді, сондықтан өндіріс жолдары күн сайын сенімдірек болып табылады. Ауа душы жеткілікті дәрежеде икемді болып қалса, өндіріс орындарындағы өзгеріп отыратын жағдайлармен тұрақты түрде баса алады, онда олар әрқашан жақсы жұмыс істейді. Бұл таза бөлмелер мен өнімнің тұтас партияларын жоятын ластау әсерінен өте сезімтал аймақтар үшін өте маңызды. Өндірушілер осындай ақылды жүйелер дұрыс орнатылып, жақсы жөндеу жасалса, ақаулар саны азайғанын хабарлайды.