EN
Svarbus Oro dušos semikonduktorių šiltnamiose
Taršos rizikos mikročipų gamyboje
Iš tiesų mikroschemų gamyba yra gana delikatiškas darbas, nes šie mažyčiai komponentai yra labai jautrūs įvairiems dalykams, tokiems kaip dulkės, aplinkoje sklandantys mažyčiai dalelės ir net cheminiai garai. Vienas mažas dalelės, matuojamos vos keliais mikrometrais, gali sugadinti viską, efektyviai brangius silicio plokšteles paverčiant bevertėmis atliekomis. Užteršimas atsiranda iš daugybės skirtingų šaltinių. Žinoma, žmonės, dirbantys ten, įneša purvą su savo drabužiais, medžiagos pačios gali turėti priemaišų, o, beje, net oras turi mikroskopines daleles, kurios pateka visur. Todėl taip svarbūs griežti valymo kambarių taisyklės. Oro dušai svarbūs puslaidininkių gamyklose. Įėjus į šiuos specialius kambarius, darbuotojus apipila stiprūs oro srautai, kurie pašalina daugumą nešvarumų dar prieš tai, kai kas nors įžengia į pagrindinę gamybos zoną. Tai padeda išlaikyti valymo kambario būklę ir išvengti brangių klaidų ateityje. Įmonės montuoja šiuos oro dušų sistemas kaip tam tikrą paskutinę užteršimo prevencijos liniją, suteikiant dar vieną svarbią apsaugos lygmenį procesams, kurie negali pakęsti jokių priemaišų.
ISO standartai semikonductorių gamybos aplinkoms
Laikytis ISO standartų nėra pasirinkimas, kai gaminami puslaidininkiai. Paimkime, pavyzdžiui, ISO 14644-1, kuri nustato griežtas taisykles apie orų kokybę specialiose patalpose, kur gaminami mikroschemos. Šis standartas iš tiesų nurodo tikslų leistinų oro dalelių skaičių bet kuriuo metu, kad gamybos procesas nebūtų sutrikdytas. Laikytis šių reikalavimų yra labai svarbu, nes kitaip įmonės rizikuoja gaminti defektinius produktus arba susidurti su rimtais kokybės problemomis ateityje. Oro dušai atlieka svarbų vaidmenį užtikrindami šių reikalavimų palaikymą. Šie įrenginiai veikia kaip svarbus barjeras nuo purvo ir dulkmių patekimo į valymo patalpas. Praėjus per oro dušus, darbuotojai atsikrato daugumos teršalų dar prieš patekdami į jautrias gamybos zonas. Puslaidininkius gaminančios įmonės, kurios jau projektavimo stadijoje integruoja oro dušus į savo patalpų planavimą, pastebi, kad kur kas lengviau išlaikyti reikiamą švaros lygį mikroschemų gamybai, todėl mažėja problemų ir pasiekiamas geresnis rezultatas.
Oro dušas Mechanika ir dalelių nuimimo efektyvumas
Aukštos greičio HEPA filtras oro srautų sistemos
Oro dušai, kurie naudoja didelės spartos oro srautą kartu su HEPA filtrais, yra būtina priemonė užtikrinti tinkamas valymo patalpų sąlygas. Patys HEPA filtrai yra gana efektyvūs sugaudami ore esančias daleles – jie sulaiko apie 99,97 procentų dalelių, mažesnių nei 0,3 mikronų, todėl žymiai sumažėja įvairaus tipo ore esantis purvas ir šiukšlės. Vertinant faktinę našumą, tokios sistemos paprastai sumažina dalelių kiekį daugiau nei 95 procentų, vos prieš žmogų įeinant į valymo zoną per orinį užtvarą. Vietoms, tokiose kaip puslaidininkių gamybos įrenginiai, tokia filtracija daro didelę įtaką. Net menkiausios dulkių kruopštelės ar kitos mikroskopinės dalelės, sklandančios ore, gali sutrikdyti jautrius mikroschemų gamybos procesus ir sukelti defektų turinčius produktus, kurių kiekvieno vertė siekia tūkstančius dolerių.
Sušaukimų konfigūracijos optimizavimas
Teisingai parinkti purkštukus oro dušuose leidžia visiškai pašalinti daleles nuo žmonių ir įrangos. Kaip mes pozicionuojame ir kampuojame purkštukus, labai svarbu užtikrinti vienodą oro apimtį visoje patalpoje, kad būtų išvengta vietų, kur dulkės tiesiog kauptųsi. Kai kurios studijos parodė, kad tokių sprendimų koregavimas gali padidinti dalelių šalinimo efektyvumą apie 20 procentų. Tai reiškia švariau esančias patalpas. Kai oro srautas tolygiai pereina per viską, mažėja tikimybė, kad purvas kauptųsi kampuose ar už mašinų. Žmonės, einantys į sterilias aplinkas, naudojasi šiuo geresniu valymo efektu, ypač laboratorijose ar gamybos vietose, kur net menkiausios užteršimo dalys gali sukelti didelius problemas ateityje.
Ciklo trukmė ir dalelių sijimos dinamika
Svarbu tinkamai nustatyti oro dušo ciklo trukmę, nes ji turi būti subalansuota tarp kruopštaus valymo ir operacijų vykdymo sklandumo. Dėl dalelių nusėdimo svarbu atsižvelgti į ciklo trukmę. Stambesnės dalelės nusėda greičiau nei smulkesnės, todėl priklausomai nuo teršalų tipo gali prireikti pakoreguoti oro srautą. Kai gamintojai keičia ciklo trukmę atsižvelgdami į dalelių elgesį, jie žymiai sumažina užteršimo problemas. Tai ypač svarbu valymo patalpose, kur net menkiausios dalelės gali sugadinti visą puslaidininkių partiją. Daugelyje puslaidininkių gamybos įmonių taikomi griežti reikalavimai dėl ore esančių dalelių, todėl tinkama ciklo trukmė nustatyti yra būtina, kad būtų užtikrinta sklandi įmonės veikla.
Dizaino aspektai Semiconductor-klasės oro dushams
Medžiagų suderinamumas ir statinio kontrolierius
Projektuojant oro dušus puslaidininkių gamybai, būtina atkreipti dėmesį tiek į medžiagų pasirinkimą, tiek į statinės elektros kontrolę. Konstrukcijos medžiagos turi būti ne poringos, kad cheminės medžiagos nekibtų prie jų paviršių arba neleistų dalelėms patekti į jautrius puslaidininkių plokšteles. Užtikrinti švarios patalpos, kuriose gaminami šie mikrokomponentai, tyrimus be pašalinių priemaišų – tai svarbus uždavinys. Taip pat svarbu valdyti statinę elektros energiją, nes tai padeda išvengti nemalonių elektrostatinių iškrova, kurios gali sugadinti jautrią įrangą. Galų gale, niekas nenori, kad 5 milijonų dolerių vertės mikroschemos būtų sugadintos dėl paprastos kibirkšties. Todėl daugelyje įrenginių kaip standartinę įrangą montuojamos specialios antistatinės grindys arba ant sienų ir darbo vietų nuteikiamos laidžiosios dengiančios medžiagos.
Tunelio tipo vs Standartinis Oro dušas Konfigūravimas
Kai įmonės sveria, ką pasirinkti – tunelinę ar standartinę oro dušų sistemą, jos turi įvertinti keletą veiksnių, įskaitant oro valymo kokybę, prieinamą grindų plotą ir finansinius apribojimus. Tunelinės sistemos sukuria tam tikrą sandarų perėjimo plotą darbuotojams prieš įžengiant į valymo kambarius, kuris paprastai užtikrina geresnį oro valymą nei įprastos sistemos. Tačiau tokios konstrukcijos reikalauja daugiau vietos, ypač ten, kur patalpose jau trūksta erdvės. Be to, jų statymas dažnai kainuoja daugiau dėl reikalingų stipresnių statybinių medžiagų ir atraminių konstrukcijų. Patalpų valdytojai pirmiausia turėtų įvertinti kasdienes operacijas. Ar darbuotojai dažnai juda per šias zonas? Su kokia produkcija dirbama? Kartais šiek tiek daugiau išleista iš pradžių gali atsiperkanti ilguoju laikotarpiu dėl mažesnių taršos problemų.
Automatinės jungtinės durų sistemos
Automatizuotos blokuotuvės puslaidininkių valciasluose svarbios užtikrinant valymo patalpų efektyvų veikimą. Pagrindinė tokio tipo sistemų funkcija yra užkirsti kelią orui išsisklaidyti iš kontroliuojamos erdvės, todėl galima išlaikyti griežtas įėjimo taisykles ir užtikrinti taršos kontrolę. Kai žmonės ar medžiagos tinkamai praeina per šį procesą, į aplinką nepateks nepageidaujami dalelės. Tai užtikrina sklandžią ir saugią veiklą labai jautriose aplinkose. Puslaidininkių gamintojams, dirbantiems su mikroskopiniais komponentais, patikimos blokuotuvės reiškia skirtumą tarp sėkmingos gamybos eigos ir brangių kokybės problemų ateityje.
Veiklos poveikis semiconductor gamybai
Produktyvumo padidjinimas dėl kontaminacijos valdymo
Oro dušai svarbiai prisideda prie didesnio puslaidininkių gamybos derliaus, nes žymiai sumažina defektus. Puslaidininkių gamyklose dažnai pasiekiamas apie 15 % didesnis derlius, kai yra naudojamos šios sistemos, nes užteršimas yra kruopščiai kontroliuojamas. Kai aplinkoje sklando mažiau dulkės, natūraliai gaunama mažiau sugadintų mikroschemų ir geresnė bendra produkto kokybė. Pinigai, sutaupomi neperdirbant brokuotų partijų ar nešvaistant defektinių detalių, ilgainiui susikaupia į reikšmingą sumą, todėl gamyba tampa ekonomiškesnė. Pašalindami mikro daleles iš valymo kambario aplinkos užtikriname, kad puslaidininkių gaminiai išliktų stabilūs ir patikimi visą gamybos procesą – būtent to siekia kiekvienas mikroschemų gamintojas.
Sumažinant švarinės kambario filtraus service sąnaudas
Laikyti, kad šios valymo kambario filtrai veiktų sklandžiai, kainuoja puslaidininkių gamintojams nemažai pinigų, tačiau oro dušai padeda sumažinti šias išlaidas. Kai šie sistemos sumažina dulkių ir dalelių kiekį, patenkantį į valymo kambarį, tai mažina apkrovą ant pačių filtrų, o tai reiškia, kad šie brangūs komponentai ilgiau tarnauja ir rečiau reikia keisti. Pramonės duomenys rodo, kad įmonės, kurios naudoja kokybiškus oro dušų technologijas, dažnai pastebi apie 30 % mažiau techninės priežiūros iškvietimų ir inspekcijų poreikį laikui bėgant. Be paprasto pinigų taupymo, šis patobulinimas iš tiesų padaro visą valymo kambario operaciją veiksmingesne kasdien, palaikant gamybos standartus be nuolatinių pertraukimų dėl filtrų keitimo ar sistemos gedimų.
Studija: Fab Plant kontaminacijos sumažinimas
Paimkime pavyzdžiui XYZ puslaidininkių gamybos įrenginį, kuris įdiegė pažangias oro dušų sistemas visuose valymo patalpose. Rezultatai iš tiesų buvo įspūdingi – užteršimo lygis sumažėjo maždaug 40 % po įgyvendinimo. Darbuotojai pastebėjo, kad šis sumažėjimas turėjo realią įtaką kasdienėms operacijoms. Gamybos komandos galėjo dirbti greičiau, nes nebereikėjo nuolat spręsti dalelių klausimų, kurie anksčiau lėtino darbą. Pažvelgus į panašias įmones visoje pramonėje, tampa aišku, kodėl įmonės nuolat investuoja į geresnę užteršimo kontrolę. Kai gamyklų valdytojai išleidžia lėšų modernesnėms oro dušų technologijoms, dažniausiai pastebimi tiek ilgalaikiai kaštų taupymai, tiek mažiau gamybos delsų, sukeltų kokybės problemomis. Puslaidininkių gamintojams, kur net menkiausios dalelės gali sugadinti visą partiją, tokios sistemos jau seniai tapo ne papildomu patogumu, o būtinu komponentu išlikti konkurencingiems šiandienos rinkoje.
Kylančios technologijos oro dūšos sistemose
Geresnio partikulių stebėjimo realiu laiku vartai
Prijungus progresyvius jutiklius prie oro dušų sistemų, visiškai pasikeitė, kaip mes stebime ore esančias daleles šiuose patalpose. Jutikliai suteikia iš karto atsakymą, todėl sistema gali reaguoti, kai teršalų lygis svyruoja per dieną. Tiesioginis stebėjimas iš tiesų palengvina darbą personalui, dirbančiam švarutėse patalpose, priimti geriausius sprendimus greitai, todėl jie gali išlaikyti atitikimą standartams, taupant laiką ir išteklius. Tikrai svarbu, kad šie technologiniai patobulinimai leidžia oro dušams koreguoti savo darbą priklausomai nuo aplinkos sąlygų. Tai reiškia, kad gamintojai gali atitikti tuos sunkius pramonės standartus be nuolatinio rankinio kalibravimo ar netikėtų teršalų problemų.
Energinę efektyvumą užtikrinančios pakartotinės cirkuliacijos sistemos
Naujos kartos cirkuliacijos sistemos, kurios naudojamos oro dušuose, padeda ne tik išlaikyti orą švarų, bet ir sutaupoma energijos, o tai šiandien yra svarbu siekiant žaliųjų iniciatyvų. Įmonės, naudojančios šias sistemas, dažnai suvartoja apie 25 % mažiau elektros energijos nei senesni modeliai. Mažesni energijos sąskaitos reiškia tikrą pinigų sutaupymą ilguoju laikotarpiu, todėl daugelis gamybos įmonių ir laboratorijų šią technologiją įtraukia į savo ekologinę strategiją. Kadangi įmonės įvairiose sektoriuose vis labiau siekia ekologiškesnių operacijų, tobulintos oro dušų sistemos padeda užpildyti tarpą tarp biudžetų mažinimo ir griežtų ekologinių reikalavimų įvykdymo.
Pritaikomas oro srautas mišrių dydžių dalelių pašalinimui
Naujausia adaptuojamosios oro srauto technologija iš esmės pakeitė oro dušų sistemų veikimą. Šios sistemos dabar gali koreguoti oro srautą priklausomai nuo aptiktų dalelių rūšių – ar tai būtų didelės ar mažos, organinės ar neorganinės dalelės. Tai reiškia geresnius valymo rezultatus esant įvairiems teršalams, todėl gamybos linijos tampa kur kas patikimesnės iš dienos į dieną. Kai oro dušai išlieka pakankamai lankstūs, kad galėtų prisitaikyti prie besikeičiančių sąlygų gamybos patalpose, jie nuosekliai gerai veikia. Tai ypač svarbu valymo patalpose ir kitose jautriose vietose, kur net menkiausias teršimas gali sugadinti visą produkto partiją. Gamyklos praneša apie mažiau defektų, kai šios išmanios sistemos tinkamai įdiegtos ir priežiūra atliekama nuolat.