EN
Чухал Аливаас Агаарын дуст нэгж Тогтвортой Байгууламжид
Микрочип бүтээхэдхээс хамаарах контаминацийн алдагдал
Микрочип үйлдвэрлэх нь бодитоор харанхуй ажил юм. Учир нь эдгээр жижиг хэсгүүд нь хөрс, агаарт нисдэг жижиг бөөмс, химийн уурын адил зүйлд маш мэдрэг байдаг. Зөвхөн хэдэн микрометр хэмжээтэй нэг жижиг ширхэг л бүхнийг муудаж болох бөгөөд үнэт цахиурын дэлгэцийг үнэ цэнэгүй хог болгон хувиргаж магадгүй юм. Бохирдол янз бүрийн эх үүсвэрээс гардаг. Тухайлбал, ажилчид хувцсаа дагуулан хөрс авчрах, материал өөрөө хольцыг авчрах, агаар ч гэсэн бүх газар тархсан бөөмс агуулж байгаа юм. Яг тиймээс л цэвэрхэн өрөөнд ажиллах журам маш чухал байдаг юм. Агаарын душ нь хагас дамжуулагчийн уулзваруудад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Эдгээр онцгой өрөөнд орж буй ажилчдад хүчтэй агаарын цацрагаар хордуулж, үндсэн үйлдвэрлэлийн бүсэд орохоосоо өмнө ихэнх бохирдлыг арилгадаг. Энэ нь цэвэрхэн өрөөнийг хадгалахад тусалж, зарим үнэт алдаагүйг хадгалж өгдөг. Компаниуд эдгээр агаарын душийн системийг бохирдлын эсрэг сүүлчийн хамгаалалтын шугам болгон суурилуулдаг бөгөөд ямар ч хольцыг тэсвэрлэж чаддаггүй үйл явцыг хамгаалахын тулд нэмэлт чухал хамгаалалтын давхаргыг нэмдэг.
ISO стандарт Семикондуктор бэлтгэлийн орчин
ISO стандартын дагуу үйл ажиллагаа явуулах нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд сонголтот асуудал биш юм. Жишээлбэл, чип үйлдвэрлэх тасалгааны агаарыг хэр чанартай байлгахыг зааж өгдөг ISO 14644-1 стандарт нь энэ хувьд тодорхой дүрэм тогтоосон байдаг. Энэ стандарт нь аль ч агшинд агаарт орших жижиг бөөмсийн тоог тодорхой зааж өгдөг бөгөөд үйлдвэрлэлийн явцад юу ч газар дутагдал үүсэхгүй байхыг хангана. Эдгээр зааварчилгааны дагуу үйл ажиллагаа явуулах нь маш чухал бөгөөд үүнийг дагуулахгүйгээр компаниуд бүтээгдэхүүний дутагдал гаргах, эсвэл чанарын томоохон асуудалд тулгарах эрсдэлтэй байдаг. Агаарын угаалга нь эдгээр шаардлагыг биелүүлэхэд томоохон үүрэг гүйцэтгэдэг. Энэ төхөөрөмжүүд нь цэвэрхэн тасалгааны талбайд орж ирэх байгалийн бохирдол, хөрснөөс сэргийлэх чухал хамгаалалтын хэрэгсэл болдог. Ажилчид агаарын угаалгаар дайран өнгөрөхдөө ихэнх бохирдол нь арилгагдаж мэдрэг үйлдвэрлэлийн бүсэд хүрэхгүй байна. Агаарын угаалгыг шууд өөртөө барилгын төсөлд нь багтаан байгуулдаг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрүүд нь чип үйлдвэрлэлд шаардагдах эдгээр баталгаат цэвэр байдлыг баримтлахад хялбар байдаг тул бэрхшээл багатай, дүн нь илүү сайн байдаг.
Агаарын шүршүүр Хөдөлгөөнүүд болон боловсруулалтын үнэлгээ
ЭМБ-гийн харьцах хурдны амьсгалаар боловсруулалт
Өндөр хурдтай агаарын урсгал болон HEPA шүүлтийг ашигласан агаарын душууд цэвэрхэн өрөөний нөхцлийг бий болгоход чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Бага хэмжээтэй бөгөөд агаарын бохирдолыг шүүж авах чадвартай HEPA шүүлтүүд нь 0.3 микрон хэмжээтэй орчим 99.97 хувийг нь шүүж чаддаг нь агаар дахь бүх төрлийн бохирдол, бохир бодисыг ихэд бууруулдаг. Бодит ажиллагааны тоон мэдээг харвал эдгээр системүүд нь агаарын шахафыг нэвтэрч цэвэр бүсэд орохын өмнө бөөмсийн тоог 95 хувь буюу түүнээс дээш бууруулдаг. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн төвүүд шиг газруудад ийм төрлийн шүүлт нь ихээхэн чухал байдаг. Хамгийн жижиг нүхнүүд ч төрөл бүрийн микроскопын бөөмс агаарын дундуур нисэж чипийн нарийн үйлдвэрлэлийн процессыг алдагдуулж, мянган долларын алдагдлыг учруулж болзошгүй юм.
Нозлийн байгуулалтын оптимизаци
Агаарын душны цэвэршүүлэгч дээр дурангийн тохируулга зөв хийх нь хүмүүс болон тоног төхөөрөмжөөс бөөмсийг авахад их чухал үүрэгтэй. Дуранг яаж байрлуулах, өнцгийг нь яаж тохируулах нь орон нутгийн бүх газар нутагт тэнцвэртэй агаарын хучилт үзүүлэх, харин цөөн газар нутагт нь хөрс байх боломжийг багасгахад маш их нөлөөтэй. Энэ асуудлыг сайжруулах нь бөөмсийг авах үр дүнг 20%-иар нэмэгдүүлэх боломжтой гэдгийг зарим судалгаа тогтоосон байдаг. Энэ нь дэлгэрэнгүйгээр цэвэрхэн өрөө гаргаж авна гэсэн үг юм. Агаарын урсгал бүх юмны дагуу жигд хөдөлж байвал өнцөг, машины ард хөрс наалдах магадлал бага байдаг. Стерилийн орчинд орж буй хүмүүс энэ илүү сайн цэвэрлэгээний үр дүнгээс хамгийн их ашиг тустай, тухайлбал, жижиг хэмжээний бохирдол ч дараа нь том асуудалд хүргэж болох лаборатори, үйлдвэрлэлийн бүс нутагт онцгой ач холбогдолтой байдаг.
Циклийн цаг, эрэлтүүдийн бууралтын динамика
Агаарын угаалгааны циклийн хугацааг зөв тооцоолох нь маш чухал юм. Учир нь энэ нь бүрэн цэвэрлэгээ хийхтэй зэрэгцээ үйлчлэгчдийн ажлыг үр ашигтайгаар хийх боломжийг олгодог. Цэвэрлэгээний циклийн хугацааг тогтоохдоо хэсгүүдийн сулралтын онцлогийг заавал тооцоолох хэрэгтэй. Их хэсгүүд бага хэсгүүдээс илүү хурдан буух тул агаарын урсгалыг зохицуулах шаардлагатай байдаг. Үйлдвэрлэгчид циклийн хугацаагаа хэсгүүдийн зангилаар нь тооцоолбол бохирдлыг ихэд бууруулдаг. Энэ нь тухайн чипний үйлдвэрт ажлын үр дүнтэй байхын тулд чухал нөхцөл болдог.
Семикондукторын түвшинд хүрэх гарын душийн зорилго
Утсын хамгаалалт, материалын хослуулалт
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд ашигладаг агаарын душныг зохион бүтээхдээ материалын сонголтоо сайн хийх, цахилгаан статикыг удирдах асуудлыг анхаарч үзэх хэрэгтэй. Барьж буй материалын гадаргуу нь нягт байж, химийн бодисыг хуримтлуулахгүй, хагас дамжуулагчийн зөөлөн дэвтэрт хор хөнөөл учруулах боломжтой эгэл хэсгүүдийг ялгаруулахгүй байх ёстой. Энэ нь цэвэрхэн өрөөнд хүссэнгүй зүйлс орж эсэхийг хянаж байгаа юм. Цахилгаан статикыг удирдах нь чухал учир нь бид бүхэн мэддэг цахилгаан гүйдлийн цэнэгийг тогтоож, мэдрэг тоног төхөөрөмжүүдэд хор хөнөөл учруулахаас сэргийлдэг. Яг одоо ч $5 сая долларын өртөгтэй чипүүдийг нэгэн хялбар цэнэгтэй асгахыг хүүхээсэн байхгүй биз. Тиймээс олон үйлдвэрүүд стандарт тохируулга хийхдээ цахилгааныг зогсоох шал, цанхан болон ажлын газрын хананд цахилгаан дамжуулах будаг хэрэглэдэг.
Туннель vs Стандарт Агаарын шүршүүр БҮТЦҮҮД
Туннель ба стандарт агаарын душны системүүдийн аль нэгийг сонгохдоо компаниуд нийтлэг цэвэршилтийн түвшин, байрны хэмжээ, санхүүгийн боломж зэрэг хэд хэдэн хүчин зүйлсийг харьцуулан үзэх хэрэгтэй. Туннель систем нь ажилчид цэвэрхэн өрөөнд орохын өмнө багтаан битгийрсэн орц үүсгэдэг бөгөөд энэ нь ерөнхийдөө стандарт загвараас илүү цэвэр агаарыг хангана. Гэсэн хэдий ч эдгээр туннел нь байрны хязгаарлагдмал зайг илүү ихээр эзэлдэг. Түүнчлэн тэдгээрийг барьж буй үед илүү бат бөх материалын шаардлага тавигддаг, тулгуур бүтцийг шаарддаг тул нэмэлт зардал гардаг. Байрны менежерүүд өөрсдийн өдөр тутмын үйл ажиллагааг эхлээд үзэх хэрэгтэй. Ажилчид олон удаа нэвтэрч байна уу? Ямар төрлийн бүтээгдэхүүн ажиллуулж байна? Зарим тохиолдолд эхний үед илүү их зарцуулсан хөрөнгө оруулалт нь дараа үеийн бохирдолтой холбоотой асуудлыг багасгах замаар урт хугацаанд хэмнэлт хийх боломжийг олгодог.
Автоматик Интерлок Дуурь Бүс Систем
Хагас дамжуулагчийн цэвэрхэн өрөөнд ашигладаг автоматаар блоклодог хаалга нь цэвэрхэн өрөөний агаарыг хамгийн сайн байдалд байлгахад том нөлөө үзүүлдэг. Эдгээр системийн гол үүрэг нь агаарын хяналттой орчинд агаар алдалт болохыг саатуулах явдал юм. Энэ нь орц дахь хатуу дүрэм баримтлахад тусалж, бохирдолыг хянах боломжийг олгодог. Хүмүүс эсвэл материал нь зохих журмын дагуу орж байвал гадны хэсгүүдийг авчрахгүй байна. Энэ нь маш мэдрэг орчинд бүх зүйлийг гладныг баталгаажуулна. Микроскопын хэсгүүдтэй ажилладаг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэгчдэд найдвартай блоклолт хэрэглэх нь амжилттай үйлдвэрлэлийн бөгөөд хожим үед чанарын асуудал үүсгэхгүй байхын ялгааг тодорхойлдог.
Семикондукторын үйлдвэрлэлд ажлын үр дүнтэй холбоотой
Цэвэрлэлийн хяналт ашиглан үр дүнг нэмэгдүүлэх
Агаарын угаалга нь дулааныг багасгаж чаддаг тул хагас дамжуулагчийн гаралтыг нэмэгдүүлэхэд томоохон үүрэг гүйцэтгэдэг. Цэвэрхэн өрөөнд агаарын угаалгыг нэвтрүүлэх нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрт дунджаар 15% илүү гаралт өгдөг бөгөөд энэ нь бохирдлыг хянах боломжийг олгодог. Агаарын орчинд бага хэмжээний бохирдол байвал чипний дутагдал багасч, бүтээгдэхүүний чанар сайжирдаг. Алдаатай бүтээгдэхүүнийг дахин боловсруулах эсвэл хаях шаардлагыг багасгаснаар зардал хэмнэгдэж, үйл ажиллагааг илүү үр ашигтай болгодог. Цэвэрхэн өрөөний орчинд жижиг хэсгүүдийг оруулахгүй байлгах нь хагас дамжуулагчийн бүтээгдэхүүнүүдийг бүх үйлдвэрлэлийн явцад тогтвортой, найдвартай байлгахыг хүсдэг бүх чип үйлдвэрлэгчийн хүсэл юм.
Цэвэрлэгчийн сувагийн ажиллаж буй үеийн үнэ цэнэгийг багасгах
Цэвэрхэн өрөөний шүүлтийг гладан ажиллуулах нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчдэд ихэнхдээ мөнгөн зардал болдог боловч агаарын душ нь энэ зардлыг бууруулахад тусалдаг. Эдгээр системүүд цэвэрхэн өрөө рүү орж буй тоос, бөөмсийн хэмжээг бууруулах үед шүүлтүүдэд тавигдаж буй даралтыг багасгадаг тул зарим үнэт нарангүйдэх хэсгүүд илүү удаан ажиллаж, солих шаардлагатай болохыг хойшлуулдаг. Салбарын өгөгдлүүд нь чанарын агаарын душны технологийг сайн нэвтрүүлсэн компаниуд хугацааны явцад засварын дуудлага, шалгалтын шаардлагыг дунджаар 30%-иар бууруулдагийг харуулж байна. Зүгээр л мөнгө хэмнэхээс гадна энэ сайжруулалт нь цэвэрхэн өрөөний үйл ажиллагааг илүү сайн, өдөр бүр дутуу хийгдэхгүйгээр явуулдаг бөгөөд шүүлт солих, систем гэмтэх гэсэн тасралтгүй бэрхшээлийггүйгээр үйлдвэрлэлийн стандартыг барих боломжийг олгодог.
Анхааруулга: Fab Plant Contamination Reduction
Жишээ нь XYZ хагас дамжуулагчийн үйлдвэрийн цэвэрхэн өрөөнд хамгийн сүүлийн үеийн агаарын душ тогтоосон нь үр дүнгээ өгсөн байна. Хэрэгжүүлснээр бохирдол 40%-иар буурсан байна. Ажилчид энэ бууралт нь өдөр тутмын үйл ажиллагаанд эерэг нөлөө үзүүлснийг анзаарсан. Бөөмсийн асуудалтай тогтмол тулгардаггүй болсны дүнд үйлдвэрлэлийн багууд хурдан ажиллах боломжтой болсон. Мөн ижил төстэй үйлдвэрүүдийг судалбал аж ахуйн нэгжүүд бохирдолтой тэмцэх технологийг сайжруулах тусам хөрөнгө оруулалт хийж байгааг харуулж байна. Агаарын душны технологийг шинэчилж хөрөнгө оруулбал урт хугацаанд зардал хэмнээд, чанарын асуудлаас үүдэлтэй үйлдвэрлэлийн саатлыг багасгадаг байна. Хамгийн бага хэмжээний бөөмс ч бүхэл бүтэн партийг устадаг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэгчдэд эдгээр системүүд одоо амьдралд шаардлагатай хэсэг болон хувирчээ.
Амьсгалын душ системд гарч ирсэн шинэ технологи
Ирээдүйн цагт ядарсан эвдлийг шалгах хөтөч сensor
Агаарын дугарга ашиглан орж буй агаарын шүүлтийн системд ухаалаг датчикуудыг нэмэх нь эдгээр орчинд агаар дахь бөөмсийг хэрхэн хянах талаарх арга барилыг бүхэлд нь өөрчилж өгсөн. Датчикууд нь системд агаарын бохирдол өдрийн турш өөрчлөгдөх үед урьдчилан мэдэгдэж, түгшүүр үзүүлдэг. Бодит цагийн хяналт нь цэвэрхэн өрөөнд ажилладаг ажилчид хурдан шийдвэр гаргах боломжийг олгодог тул цаг хэмнэх, нөөцийг зөв ашиглах, дүрэм журамд нийцэхэд тусалдаг. Энэ технологийн шинэчлэл нь агаарын дугаргыг орчны нөхцөл байдалд нь дайчлан засварлах боломжийг олгодог нь үнэндээ маш чухал юм. Энэ нь үйлдвэрлэгчид хүнд нөхцөлтэй стандартуудад нийцүүлэхийн тулд тогтмол дахин тохируулах, хүлээхгүйгээр ажиллах боломжийг олгоно.
Эрчим хөдлөлийн байдлаар ашигладаг дахин ашиглах систем
Агаарын душны шинэ үеийн дахин боловсруулах системүүд нь агаарыг цэвэр байлгахаас илүү үүрэг гүйцэтгэдэг. Энэ системүүд нь цахилгаан энергийн хэрэглээг багасгадаг бөгөөд энэ нь сүүлийн үед эко анхдагч аж ахуйн нэгжүүдэд маш чухал асуудал болдог. Эдгээр системийг нэвтрүүлсэн байгууламжууд нь хуучин загваруудтай харьцуулахад дунджаар 25% бага цахилгаан хэрэглэж байна. Цахилгааны бага нэхэмжлэгт мөнгө хэмнэх боломжийг олгодог тул олон үйлдвэрийн газрууд, лабораториуд экологийн стратегийн хүрээнд энэ технологийг сонгож байна. Олон салбарын компанийн уламжлалт үйл ажиллагаагаа эко байдлаар өөрчлөхийг эрмэлздэг байхад эдгээр сайжруулсан агаарын душны систем нь төсөв багатай ажиллах болон байгаль орчны хүнд шаардлагыг хангах хоорондын зөрүүг дүүргэхэд тусалдаг.
Холимогүй эргэлтээр хувиргах хөдөө ашиглан хурдан, бага хэмжээний хөрөнгө ороход тохиромжтой
Хамгийн сүүлийн үеийн агаарын урсгалыг тохируулах технологи нь агаарын угаалгын системийн ажиллагааг ихэд өөрчилсөн. Эдгээр систем нь том эсвэл жижиг, органик эсвэл анорганик бөгөөд ямар төрлийн бөөмс байгааг илрүүлснээр агаарын урсгалыг тохируулж чаддаг. Энэ нь янз бүрийн төрлийн бохирдлыг цэвэрлэх үр дүнг сайжруулж, үйлдвэрлэлийн шугамыг өдөр бүр илүү найдвартай болгож байна. Агаарын угаалгын систем нь үйлдвэрийн тогтвортой бус нөхцөл байдалд хангалттай хүрэлцэх чадвартай байвал тогтвортой ажиллагааг нь сахин хадгалдаг. Энэ нь жижиг хэмжээний бохирдол ч бүтээгдэхүүнийг нийтэд нь гэмтээж болох цэвэрхэн өрөө болон бусад мэдрэг хэсгүүдэд онцгой ач холбогдолтой юм. Эдгээр оюунлаг системийг зөв суурилуулж, зохицуулахад үйлдвэрлэгчид дутагдал багасдаг гэж мэдэгдэж байна.