поточные чистые комнаты
Flow чистые жерлер контролдүү окугу технологиясындагы жаңычыл элеметтерди көрсөтөт, алар критикалык ишлөө жана сураныш тизимдеринде айрым ырааттуу хава сапын жана чакындык деңгээлин сактоо маалыматына байланыштуу. Бул махсус ташоодор улуу ламинардык хава тизимдерин пайдаланат, алар фильтрленген хаваны ишенинен чекте берилген жерге тез-теез, бирдей токтунда көчүрүп жатат, анткени бул жерден кичине чакындарды алып таштаңбы жана тез-теезгиликтүү окугу чекиттерин сактоот. Тизим High-Efficiency Particulate Air (HEPA) немесе Ultra-Low Particulate Air (ULPA) фильтрлерди орт тартканда, алар 0.3 микрон боюнча чакындарды 99.99% эфективдүү түрдө тутуштайды. Андан кийин фильтрленген хава башкаруучу шаблонда бардык жерге бөлүнөт, абияттанып, чуй-жерден таас жана чуй-жерге чейин көчөт, жаман процесслердин чейинде чакындык хава экигендигин жасаган. Flow чистые жерлер кандай-кандай мониторинг системелери менен тууралган, алар чакын санын, хава басын, температуралык жана таңдама деңгээлини түз-түстүү түрдө каргоочу, анткени оптималдык чекиттер түз-түстүү түрдө сакталат. Бул ташоодор semiconductor иштеп чыгарууда, фармацевтикалык иштеп чыгарууда, медициналык аппараттарды жыйындашуу жана биотехнологиялык суранышта өзгөчө болуп саналат, анткени чакындык чакындык продукт сапыны жана сураныш интегралдарын камчиргандыгы мүмкүн.